硅化钴 Cobalt disilicide（CoSi2） 

中文名称：硅化钴
化学式：CoSi2
分子量：115.104
CAS号：12017-12-8
EINECS号：234-616-8
密度：5.3g/cm3
熔点：1277℃
晶格常数：a=0.535nm
晶系：立方系结晶
外观：呈灰色的硅化物陶瓷粉末
溶解性：不溶于水

性质与稳定性：遵照规格使用和储存则不会分解。CoSi2可与热的盐酸作用，溶于盐酸,

不溶于硫酸。能被王水、浓硝酸、强碱溶液及熔融的氢氧化碱和碳酸碱所侵蚀。可与

硫化氢、氟化氢、氯化氢、氟、氯等发生化学反应。
合成方法：
按照CoSi2的化学组成比将钴粉与硅粉混合均匀，在隔绝空气的条件下将其熔融，并在

1150℃的温度下保温100h，使其充分均质化，产物为接近单一相的CoSi2。
用途：硅化钴粉末具有电阻率低、热稳定性好等特点，主要用于大规模集成电路。此

外，硅化钴具有类似于硅的晶体结构，因此可以在硅衬底上形成外延CoSi2/Si结构，

以研究外延金属硅的界面特性。硅化钴(cosix)是金属与半导体连接所广泛所采用的材

料，其作为半导体之基电极与金属导线之间的连接(inter-connect)在器件中工作。
贮存方法：保存于干燥、阴凉的环境中，不宜暴露空气中，防受潮发生氧化团聚，影

响分散性能和使用效果。